等離子清洗技術(shù)在TO導(dǎo)電玻璃上的應(yīng)用,在更暢通的5G時(shí)代，平板顯示器成為我們接收信息的一個(gè)重要視覺窗口。ITO導(dǎo)電玻璃作為平板顯示器唯一的透明導(dǎo)電電極材料，在液晶電視、筆記本電腦、平板電腦、智能手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、數(shù)碼攝像機(jī)等電子商品的生產(chǎn)制造中發(fā)揮其他材料不可替代的作用。

       ITO導(dǎo)電玻璃，是一種既透明又導(dǎo)電的玻璃，采用磁控濺射沉積成膜技術(shù)，以氧化銦錫（俗稱ITO）材料作為濺射靶材，在玻璃基板上生成一層很薄的ITO膜。玻璃基板具有重量輕、透明度高、平整度高、機(jī)械硬度好、易切割加工等特點(diǎn)，同時(shí)具有良好的導(dǎo)電性和透光性，可以切斷對人體有害的電子輻射，紫外線及遠(yuǎn)紅外線。廣泛應(yīng)用于手機(jī)屏、PDA、計(jì)算器、電子手表、電磁屏蔽、光催化、太陽能電池、生物實(shí)驗(yàn)、各大高校實(shí)驗(yàn)室等新型科技領(lǐng)域。
目前ITO導(dǎo)電玻璃精密表面處理的方法有等離子清洗技術(shù)、拋光處理、酸堿處理、氧化劑處理以及在ITO表面增加有機(jī)和無機(jī)化合物。等離子清洗技術(shù)被認(rèn)為是最有效的處理方式——兼表面平整、清洗有機(jī)物和表面活化等功效，降低平均粗糙度，增加表面極性度，提高功函數(shù)。
        由于ITO可直接與有機(jī)薄膜接觸，所以使得ITO的表面特性如表面有機(jī)污染物含量、面電阻、表面粗糙度和功函數(shù)等對整個(gè)器件性能起著重要作用，改變ITO的表面特性便可影響OLED的性能。等離子清洗技術(shù)的作用通常是改變表面粗糙度和提高功函數(shù)，利用等離子體可對ITO玻璃表面進(jìn)行活性處理。
        等離子清洗技術(shù)通常在等離子處理設(shè)備上，將基片放在底座上，在真空系統(tǒng)中通入不同的混合氣體，并在金屬電極上家射頻電壓將氣體電離，形成等離子體, 以非常快的速度轟擊ITO基片粗糙微小凸起，并清洗表面吸附的環(huán)境氣體、水汽、污物， 使表面清潔、活化。
       從等離子體處理后的ITO表面形貌分析發(fā)現(xiàn)，ITO表面的平均粗糙度和峰谷粗糙度有明顯降低，使薄膜表面變得更加平坦。ITO膜與NPB之間的界面能減少，空穴注人能力大大增強(qiáng)。表面富集了一層帶負(fù)電的氧，形成界面偶極層，增加了ITO表面功函數(shù)。同時(shí)，表面顆粒半徑大大降低，使得ITO與有機(jī)層的接觸面增大，表面吸附力增大使ITO薄膜表面的潤濕性能和氧原子吸附性能得到改善，有利于獲得更加均勻的有機(jī)薄膜?？偠灾?，等離子清洗技術(shù)后的陽極制備的器件亮度高，質(zhì)量好，利于增加發(fā)光器件的壽命和穩(wěn)定性。